原子熒光光譜儀是通過測量待測元素的原子蒸氣在輻射能激發下產生的熒光發射強度，來確定待測元素含量的方法。具有原子吸收和原子發射光譜兩種技術的優勢，克服了單一技術在某些方面的缺點，對一些元素具有分析靈敏度高、干擾少、線性范圍寬、可多元素同時分析等特點。減小了光源與PMT的激發角度，既增加了接收熒光信號強度，又降低了背景干擾，從而提高儀器靈敏度。 氣態自由原子吸收特征波長輻射后，原子的外層電子從基態或低能級躍遷到高能級經過約10s，又躍遷至基態或低能級，同時發射出與原激發波長相同或不同的輻射，稱為原子熒光。原子熒光分為、直躍熒光、共振熒光階躍熒光等等。
1.直躍線熒光
當處于基態的價電子受激躍遷至高能態（E2），處于高能態的激發態電子在躍遷到低能態（E1）（但不是基態）所發射出的熒光被稱為直躍線熒光。
2.共振熒光
處于基態或低能態的原子, 吸收光源中的共振輻射躍遷到高能態, 處于高能態的原子在返回基態或相同低能態的過程中, 發射出與激發光源輻射相同波長的熒光,這種熒光稱為共振熒光。
3.階躍線熒光
當價電子從基態躍遷至高能態(E2)后, 由于受激碰撞損失部分能量而降至較低的能態(E1)。從較低能態（E1）回到基態（E0）時所發出的熒光稱為階躍線熒光。
4.熱助階躍線熒光
基態原子通過吸收光輻射躍遷至高能態(E2), 處于高能態的價電子在熱能的作用下進一步激發, 電子躍遷至與能級E2相近的更高能態E3。當去激發至低能態（E1）（不是基態）時所發出的次級光被稱為熱助階躍線熒光。
5.敏化熒光
當受激的第一種原子與第二種原子發生非彈性碰撞時, 可能把能量傳給第二種原子, 從而使第二個原子被激發, 受激的第二種原子去激發過程中所產生的熒光叫敏化熒光。
原子熒光光譜儀廣泛應用于教學研究、藥品檢驗、食品衛生檢驗、衛生防疫、醫療臨床檢驗、城市給排水檢驗、農產品檢驗、、環保監測、化妝品檢驗、飲料檢驗冶金樣品檢驗、地質普查檢測等行業。
